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1、引言微波移相器是相控陣雷達、衛星通信、移動通信設備中的核心組件，它的工作頻帶、插入損耗直接影響著這些設備的抗干擾能力和靈敏度，以及系統的重量、體積和成本，因此研究寬帶、低插損的移相器在軍事上和民用衛星通信領域具有重要的意義。近年來，隨著RF MEMS開關的研究不斷取得進展，使MEMS開關替代傳統的鐵氧體開關、p-i-n二極管、FET，設計制造寬帶、低插損RF MEMS移相器成為可能。因此采用MEMS微波開關技術的單片集成RF MEMS移相器，具有較低的插入損耗、寬帶寬、小體積的特點，是實現上萬單元相控陣天線的關鍵技術，對衛星組網技術、戰術、戰略偵察、制導均有重要意義。
2、發展現狀
由于相控陣雷達、衛星通信等領域應用的需要，RF MEMS移相器在國際上有眾多的研究者，工作頻段從幾GHz到上百GHz，采用的結構有DMTL型、開關線型和反射型。
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