過(guò)去 30 年來(lái)，MEMS 開關(guān)一直被標(biāo)榜為性能有限的機(jī)電繼電器的出色替代器件，因?yàn)樗子谑褂茫叽绾苄。軌蛞詷O小的 損耗可靠地傳送 0 Hz/dc 至數(shù)百 GHz 信號(hào)，有望徹底改變電子系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方式。這種性能優(yōu)勢(shì)會(huì)對(duì)大量不同的設(shè)備和應(yīng)用產(chǎn) 生重要影響。在 MEMS 開關(guān)技術(shù)的幫助下，很多領(lǐng)域都將達(dá)到前所未有的性能水準(zhǔn)和尺寸規(guī)格，包括電氣測(cè)試與測(cè)量系統(tǒng)、 防務(wù)系統(tǒng)應(yīng)用、醫(yī)療保健設(shè)備。

　　目前的開關(guān)技術(shù)都或多或少存在缺點(diǎn)，沒(méi)有一種技術(shù)是理想解決方案。繼電器的缺點(diǎn)包括帶寬較窄、動(dòng)作壽命有限、通道數(shù)有限以及封裝尺寸較大。與繼電器相比，MEMS 技術(shù)一直就有實(shí)現(xiàn)最高水平 RF 開關(guān)性能的潛力，其可靠性要高出好幾個(gè)數(shù)量級(jí)，而且尺寸很小。但是，難以通過(guò)大規(guī)模生產(chǎn)來(lái)大批量提供可靠產(chǎn)品的挑戰(zhàn)，讓許多試圖開發(fā) MEMS 開關(guān)技術(shù)的公司停滯不前。Foxboro Company 是最早開始 MEMS 開關(guān)研究的公司之一，其于 1984 年申請(qǐng)了世界最早的機(jī)電開關(guān)專利之一。ADI 公司自 1990 年開始通過(guò)一些學(xué)術(shù)項(xiàng)目涉足 MEMS 開關(guān)技術(shù)研究。到 1998 年，ADI 公司終于開發(fā)出一種 MEMS 開關(guān)設(shè)計(jì)，并根據(jù)該設(shè)計(jì)制作了一些早期原型產(chǎn)品。2011 年，ADI 公司大幅增加了 MEMS 開關(guān)項(xiàng)目投入，從而推動(dòng)了自有先進(jìn) MEMS 開關(guān)制造設(shè)施的建設(shè)。現(xiàn)在，ADI 公司已能夠滿足業(yè)界一直以來(lái)的需求：量產(chǎn)、可靠、高性能、小尺寸的 MEMS 開關(guān)取代衰老的繼電器技術(shù)。 ADI 公司與 MEMS 技術(shù)有著深厚的歷史淵源。世界上第一款成功開發(fā)、制造并商用的 MEMS 加速度計(jì)是 ADI 公司于 1991 年發(fā)布的 ADXL50 加速度計(jì)。ADI 公司于 2002 年發(fā)布第一款集成式 MEMS 陀螺儀 ADXRS150。以此為開端，ADI 公司建立了龐大的 MEMS 產(chǎn)品業(yè)務(wù)和無(wú)可匹敵的高可靠性、高性能 MEMS 產(chǎn)品制造商聲譽(yù)。ADI 公司已為汽車、工業(yè)和消費(fèi)電子應(yīng)用交付了逾 10 億只慣性傳感器。正是這種優(yōu)良傳統(tǒng)所帶來(lái)的經(jīng)驗(yàn)和信念將 MEMS 開關(guān)技術(shù)變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)。