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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>單晶碳化硅低溫濕法刻蝕試驗

單晶碳化硅低溫濕法刻蝕試驗

2023-02-20 | pdf | 0.13 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

引言?
硅片在大口徑化的同時,要求規格的嚴格化迅速發展。特別是由于平坦度要求變得極其嚴格,因此超精密磨削技術得以開發, 實現了無蝕刻化,無拋光化。雖然在單晶SiC晶片上晶片磨削技術的開發也在進行,但在包括成本在內的綜合性能方面還留有 課題。因此,與硅不同,沒有適當的去除加工損傷的蝕刻技術,擔心無法切實去除搭接后的殘留損傷。本方法以開發適合于去 除加工損傷的濕蝕刻技術為目的,以往的濕蝕刻是評價結晶缺陷的條件,使用加熱到500℃以上的KOH熔體的,溫度越高,安 全性存在問題,蝕刻速率高。
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