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SRAM 故障模型的檢測方法與應用
馮軍宏 簡維廷 劉云海
（中芯國際品質與可靠性中心, 上海,201203 ）
摘 要： 靜態隨機存儲器（Static Random Access Memory, SRAM）的功能測試用來檢測該集成電路（IC）是否有功能缺陷，而目前大部分測試程序都只是集中在如何提高IC 測試覆蓋度，卻很少能夠做到檢測IC是否有缺陷的同時分析這些缺陷的物理失效機理。本文介紹了一種利用不同測試算法組合測試的方法，在檢測IC 是否有缺陷同時，還能進行失效故障模型的分析，進一步利用該故障模型可以推測出具體的物理失效機理。該方法能顯著提高測試中電性失效分析（EFA）的能力，進而提高了物理失效分析和IC 制程信息反饋的效率和能力。
關鍵詞：SRAM；測試流程；故障模型；失效機理；失效分析；電性分析
馮軍宏 簡維廷 劉云海
（中芯國際品質與可靠性中心, 上海,201203 ）
摘 要： 靜態隨機存儲器（Static Random Access Memory, SRAM）的功能測試用來檢測該集成電路（IC）是否有功能缺陷，而目前大部分測試程序都只是集中在如何提高IC 測試覆蓋度，卻很少能夠做到檢測IC是否有缺陷的同時分析這些缺陷的物理失效機理。本文介紹了一種利用不同測試算法組合測試的方法，在檢測IC 是否有缺陷同時，還能進行失效故障模型的分析，進一步利用該故障模型可以推測出具體的物理失效機理。該方法能顯著提高測試中電性失效分析（EFA）的能力，進而提高了物理失效分析和IC 制程信息反饋的效率和能力。
關鍵詞：SRAM；測試流程；故障模型；失效機理；失效分析；電性分析
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