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電子發燒友網>電子資料下載>品質管理資料>納米結構制備技術

納米結構制備技術

2011-06-20 | pdf | 91 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

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 隨著納米加工技術的發展,納米結構器件必將成為將來的集成電路的基礎. 本文介紹了幾種用電子束光刻、反應離子刻蝕方法制備硅量子線、量子點和用電子束光刻、電子束蒸發以及剝離技術制備納米金屬柵的工藝方法;用這種工藝方法在P 型SIMOX硅片上成功制造的一種單電子晶體管,在其電流電壓2特性上觀測到明顯的庫侖阻塞效應和單電子隧穿效應.
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