超聲電機(jī)是基于壓電現(xiàn)象產(chǎn)生超聲駐波的原理而開發(fā)的，應(yīng)用于運(yùn)動控制領(lǐng)域的精密電機(jī)。與傳統(tǒng)電機(jī)相似，具有高分辨率和壓電驅(qū)動裝置的動態(tài)特性。給超聲波電機(jī)輸入驅(qū)動電壓后，壓電材料產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，從而產(chǎn)生驅(qū)動力進(jìn)行直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。

　　超聲電機(jī)具有定位精確，分辨率可達(dá)1μm，精度10nm，運(yùn)動速度平穩(wěn)，低10μm/s，高250mm/s，標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時間為50～75μs，整定時間明顯優(yōu)于一般伺服電動機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動機(jī)的1/10，定位后沒有一般伺服電動機(jī)存在的晃動問題，而且超聲波電機(jī)具有重量輕，體積小，精度高等特點(diǎn)。

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　　什么是音圈電機(jī)？音圈電機(jī)是一種特殊形式的直接驅(qū)動電機(jī)，能將電能直接轉(zhuǎn)化成直線運(yùn)動機(jī)械能而不需要任何中間轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的傳動裝置。其原理是在均勻氣隙磁場中放入一圓筒狀繞組，繞組通電產(chǎn)生電磁力帶動負(fù)載作直線往復(fù)運(yùn)動，改變電流的強(qiáng)弱和極性，就可改變電磁力的大小和方向。

　　音圈電機(jī)是一種反應(yīng)頻率快的直驅(qū)式電機(jī)，分圓柱音圈電機(jī)，擺角音圈電機(jī)，矩型音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有零磁滯、零磁槽效應(yīng)，高響應(yīng)，高精度，高加速，高速度，力特性好，控制方便，體積小和分辨率無限小等優(yōu)點(diǎn)。

　　根據(jù)驅(qū)動、反饋、控制器和控制算法等配置高低，音圈電機(jī)一般可以達(dá)到500-1000Hz的運(yùn)動頻率，甚至更高。