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半導(dǎo)體器件HPM損傷脈寬效應(yīng)機理分析:HPM能量在半導(dǎo)體器件損傷缺陷區(qū)的熱量沉積以及向周圍材料的熱量擴散，是造成半導(dǎo)體器件損傷脈寬效應(yīng)的機理；分別得到了全脈寬段、長脈寬段和短脈寬段的損傷經(jīng)驗公式，該損傷經(jīng)驗公式能較好地對實驗和理論模擬效應(yīng)數(shù)據(jù)進行擬合。
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