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設(shè)計了一個低成本、高穩(wěn)定性的基于ＢＪ２２矩形波導(dǎo)的微波等離子體炬源。整個系統(tǒng)由１～１０ｋＷ主頻２．４５ＧＨｚ的磁控管微波功率源、環(huán)形器、調(diào)諧器和微波反應(yīng)腔體組成。通過特殊設(shè)計的調(diào)諧裝置，在氣體噴嘴處產(chǎn)生高幅值的電場強度，使工作氣體電離形成大氣壓開放式微波等離子體炬。對影響電場強度的幾個關(guān)鍵因素進行了仿真，得出各個參數(shù)對場強的影響規(guī)律；根據(jù)仿真參數(shù)設(shè)計了微波反應(yīng)腔體，該系統(tǒng)可以在大氣壓下激發(fā)和維持開放的穩(wěn)定氬氣、氦氣、氮氣和空氣等離子體炬。對等離子體炬的基本特性和基本參數(shù)進行了研究，驗證了設(shè)計參數(shù)的正確性，討論了其可擴展性及潛在的工業(yè)應(yīng)用。
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