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介紹了一種基于質(zhì)量流量混合法的實時動態(tài)配氣系統(tǒng).該系統(tǒng)采用了高精度的質(zhì)量流量控制器,可用于配制各種低濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體,以滿足工業(yè)應(yīng)用和科學(xué)研究中標(biāo)準(zhǔn)氣體的需
求.
關(guān)鍵詞: 質(zhì)量流量混合法;質(zhì)量流量控制器; 配氣系統(tǒng)
Abstract:This paper introduces a realtime and dynamic gas confection system based on the
method of mass flow mix .This system applying high precision Mass Flow Controller(MFC) can be used for confecting kinds of low concentration standard gas, to supply standard gas for industry and science research .
Keywords: Method of mass flow mix; Mass Flow Controller(MFC);
Gas confection system
求.
關(guān)鍵詞: 質(zhì)量流量混合法;質(zhì)量流量控制器; 配氣系統(tǒng)
Abstract:This paper introduces a realtime and dynamic gas confection system based on the
method of mass flow mix .This system applying high precision Mass Flow Controller(MFC) can be used for confecting kinds of low concentration standard gas, to supply standard gas for industry and science research .
Keywords: Method of mass flow mix; Mass Flow Controller(MFC);
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