資料介紹
為了有效的在線測量水膜,本文采用低成本的非接觸式、高精度電容測微儀作為水膜厚度的傳感器件,采用虛擬儀器進行測量狀態的分析,并根據測量結果給出控制信號。電容測微儀將水膜厚度變化信息轉換為-10V~+10V的電壓變化,通過A/D采集卡(如ZTIC8310,ZTIC6319等)進入計算機系統,虛擬儀器將實時采集的水膜電壓信息轉換為水膜的絕對厚度值,并實時顯示和保存,以供更深一步的分析。本測控系統準確的測出運動水膜的厚度信息,精度0.01μ,解決了水膜測量的難題。采用高精度電容測微儀及虛擬儀器進行測量方法成本低、使用方便,容易擴展到其他測控領域。
虛擬儀器(Virtual Instrument)技術[1]是八十年代以來隨著計算機技術及儀器儀表技術的發展而出現的新型測量與控制技術。在自動化、測試儀器儀表行業中,虛擬儀器概念的出現,是對傳統儀器概念的重大突破。軟件就是儀器的口號,徹底打破了傳統儀器由廠家定義,用戶無法改變的模式。儀器的功能可隨用戶的要求更改,使得昂貴的儀器可以在普通的PC機上實現。并且一臺PC可以實現多種儀器,從而降低了儀器費用。
電容傳感器屬于非接觸相對線性測量[6]。在電容傳感器的測量范圍內,線性度很好,可以進行與距離相關的各種非接觸測量。線性度、分辨力和靈敏度是評價電容傳感器的重要性能參數,用戶尤其關心的是線性度的大小。圖1給出了電容測微儀的工作原理。
虛擬儀器(Virtual Instrument)技術[1]是八十年代以來隨著計算機技術及儀器儀表技術的發展而出現的新型測量與控制技術。在自動化、測試儀器儀表行業中,虛擬儀器概念的出現,是對傳統儀器概念的重大突破。軟件就是儀器的口號,徹底打破了傳統儀器由廠家定義,用戶無法改變的模式。儀器的功能可隨用戶的要求更改,使得昂貴的儀器可以在普通的PC機上實現。并且一臺PC可以實現多種儀器,從而降低了儀器費用。
電容傳感器屬于非接觸相對線性測量[6]。在電容傳感器的測量范圍內,線性度很好,可以進行與距離相關的各種非接觸測量。線性度、分辨力和靈敏度是評價電容傳感器的重要性能參數,用戶尤其關心的是線性度的大小。圖1給出了電容測微儀的工作原理。
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