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微機電系統(MEMS)是一門新興的交叉學科。MEMS 能夠實現各類產品的微
型化、集成化、便攜化，在諸多領域有廣泛的應用與產業前景。本文概括地介紹了
MEMS 產業化的意義，并用SWOT 法分析了中國MEMS 產業化的現狀以及面臨的
機遇與挑戰。
關鍵詞：MEMS；產業化；機遇
Abstract: Micro Electro-Mechanical System(MEMS) is a rising interdiscipline. MEMS
technology will be applied to various fields, as it makes more and more products
microminiaturized, integrated and portable. This paper summarizes the significance of
MEMS industrialization, and use SWOT method to analyze current situation, opportunity
& challenge of China MEMS industrialization.
Key: MEMS; Industrialization; Opportunity
微機電系統(MEMS)是指可批量生產的，集微傳感器、微執行器、微結構、微
機械、信號處理和控制電路、通信接口和電源等部件于一體的能完成特定功能的微
系統。MEMS 是多學科交叉的前沿研究領域，它涉及微電子技術、機械技術、材
料科學與技術、自動控制技術、生物技術、物理與化學等學科與技術。
型化、集成化、便攜化，在諸多領域有廣泛的應用與產業前景。本文概括地介紹了
MEMS 產業化的意義，并用SWOT 法分析了中國MEMS 產業化的現狀以及面臨的
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微機電系統(MEMS)是指可批量生產的，集微傳感器、微執行器、微結構、微
機械、信號處理和控制電路、通信接口和電源等部件于一體的能完成特定功能的微
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