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臥式熱壁型PECVD 設(shè)備
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司
1、簡介
我公司研制的臥式PECVD 設(shè)備專門應(yīng)用于太陽能電池制造領(lǐng)域中氮化硅薄膜的淀積工
藝。由于PECVD 淀積氮化硅膜時(shí),在生長氮化硅膜作為減反射膜的同時(shí)生成了大量的原子
氫，這些氫原子不但具有表面鈍化作用，同時(shí)可以很好的鈍化硅中的位錯(cuò)、表面懸掛鍵，從而提高硅片中載流子遷移率,具有體鈍化的作用?？梢詷O大的提高太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率。是太陽能電池生產(chǎn)線上最關(guān)鍵的設(shè)備之一。
我公司生產(chǎn)的PECVD 由爐體機(jī)柜、電氣控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)
和RF 電源等組成。采用工作站對工藝時(shí)間、溫度、氣體流量、閥門動作，以及工作壓力等進(jìn)行實(shí)行全自動控制；工藝穩(wěn)定，可靠性高，所淀積的氮化硅膜各項(xiàng)數(shù)據(jù)都符合太陽能電池制程的要求，達(dá)到了國際同類產(chǎn)品水平。
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司
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我公司研制的臥式PECVD 設(shè)備專門應(yīng)用于太陽能電池制造領(lǐng)域中氮化硅薄膜的淀積工
藝。由于PECVD 淀積氮化硅膜時(shí),在生長氮化硅膜作為減反射膜的同時(shí)生成了大量的原子
氫，這些氫原子不但具有表面鈍化作用，同時(shí)可以很好的鈍化硅中的位錯(cuò)、表面懸掛鍵，從而提高硅片中載流子遷移率,具有體鈍化的作用?？梢詷O大的提高太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率。是太陽能電池生產(chǎn)線上最關(guān)鍵的設(shè)備之一。
我公司生產(chǎn)的PECVD 由爐體機(jī)柜、電氣控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)
和RF 電源等組成。采用工作站對工藝時(shí)間、溫度、氣體流量、閥門動作，以及工作壓力等進(jìn)行實(shí)行全自動控制；工藝穩(wěn)定，可靠性高，所淀積的氮化硅膜各項(xiàng)數(shù)據(jù)都符合太陽能電池制程的要求，達(dá)到了國際同類產(chǎn)品水平。
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