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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>超大規模集成電路快速熱處理技術

超大規模集成電路快速熱處理技術

2011-10-28 | pdf | 1.06 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

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本文介紹了快速熱處理技術的研究成果包括: R H T 設備, 高劑量注入硅的R T A 機理與最佳R T A 條件選擇, 以及淺P N 結制造,硅化物形成, BP SG 回流和薄氧化層的快速氮化等R T P技術.
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