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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>半導體器件可靠性及工藝控制

半導體器件可靠性及工藝控制

2011-10-31 | pdf | 657 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

重點介紹了國內外半導體器件制造工藝與器件可靠性的相關性報道,還介紹了關鍵工藝控制點的確定機器參數控制范圍以及生產高質量、高可靠性器件的工藝環境的控制要求

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