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從等離子體動(dòng)力學(xué)的角度出發(fā)，求解描述帶電粒子碰撞過(guò)程的Fokker-Planck動(dòng)力學(xué)方程，計(jì)算非平衡態(tài)下SF6等離子體中電子的慢化頻率、偏轉(zhuǎn)頻率、平行擴(kuò)散頻率和動(dòng)能交換頻率，分析了電子速度減慢、動(dòng)能耗散以及電子與重粒子間動(dòng)能傳遞的能力；求解粒子間能量變化率，得到電子一電子、電子一重粒子、重粒子一重粒子間通過(guò)碰撞達(dá)到溫度平衡所用的時(shí)間。研究結(jié)果表明：SF6等離子體由非平衡態(tài)向平衡態(tài)過(guò)渡所需的時(shí)間應(yīng)該采用電子，重粒子間的溫度平衡時(shí)間表征，壓強(qiáng)0.1～2.0 MPa下，當(dāng)SF6氣體處于絕緣介質(zhì)和導(dǎo)電通道臨界狀態(tài)時(shí)（等離子體溫度3 500～4 000 K），SF6等離子體由非平衡態(tài)過(guò)渡到平衡態(tài)所用的時(shí)間在9.5～535.9 lcs;高壓SF6斷路器介質(zhì)恢復(fù)（熱恢復(fù)過(guò)程持續(xù)時(shí)間10 Vs左右）和隔離開(kāi)關(guān)多次重燃（單次燃弧持續(xù)時(shí)間小于10 Vs）等過(guò)程中的非平衡態(tài)SF6等離子體很難過(guò)渡到平衡態(tài)。
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