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超精密機械加工技術(shù)在微光學(xué)元件制造中的應(yīng)用

2009-12-15 | rar | 224 | 次下載 | 3積分

資料介紹

超精密機械加工技術(shù)作為微光學(xué)元件的一種制造方法,具有很多其他傳統(tǒng)方法所不具有的優(yōu)點。本文回顧了超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展,展望了其在微光學(xué)元件加工中的應(yīng)用潛力。
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