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微機電系統(tǒng)的發(fā)展及其應(yīng)用:微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上產(chǎn)生和發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿科學(xué)研究領(lǐng)域,是面向21 世紀(jì)的高新科技. 介紹了微機電系統(tǒng)產(chǎn)生的背景影響、組成特征和基礎(chǔ)研究內(nèi)容,綜述了微機電系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)所涉及的材料、微機械設(shè)計和模、微細(xì)加工技術(shù)以及微封裝與測試等領(lǐng)域,并對微機電系統(tǒng)的應(yīng)用、典型的微器件、國內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀及前景進行全面分析. 在此基礎(chǔ)上,論述了MEMS 技術(shù)目前存在的問題和未來發(fā)展的趨勢.
關(guān)鍵詞: 微機電系統(tǒng); 基礎(chǔ)研究; 微加工技術(shù);微型傳感器;現(xiàn)狀及展望
關(guān)鍵詞: 微機電系統(tǒng); 基礎(chǔ)研究; 微加工技術(shù);微型傳感器;現(xiàn)狀及展望
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