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離散半圓柱體電阻式氣體傳感器的研究_杜玉帥
氣體檢測技術在國民經濟中占有重要地位， 目前檢測氣體的方法和手段已經非常多，主要包括電化學法、接觸燃燒法半導體氣體傳感器檢測法、光纖法，但是從材料的應用范圍、普及程度以及實用性來看半導體氣體傳感器是應用最廣泛的。半導體傳感器包括電租式氣體傳感器和非電租氣體傳感器， 電阻式是得用其阻值變化來檢測氣體濃度。由于電阻式半導體傳感器研究較早，到目前為止是應用最廣泛的一種。電阻式半導體傳感器是用氧化錫、氧化鋅等金屬氧化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的變化來檢測氣體的濃度。隨著氣體傳感器的應用越來越廣泛，對其性能要求也提高。在科技飛速發展的時代，對氣體的檢測與控制都很重要。氣體傳感器的一個重要指標就是選擇性， 目前已經有了可同時檢測多種可揮發性有機化合物氣體的傳感器，可方便的根據目標氣體更換相應敏感部件。但對于氣體傳感器響應時間的研究較少， 因此本文提出了一種具有快速響應的新型敏感結構，根據擴散理論分析了其響應時間，并和傳統連續平面敏感結構的氣體傳感器進行性能比較。
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