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摘要：研究了基于AlGaN/GaN型結(jié)構(gòu)的氣敏傳感器對(duì)于CO的傳感性.制備出AlGaN/GaN型氣敏傳感器器件，并測(cè)試得到了器件在50℃時(shí)對(duì)于不同濃度（1%，9000，8000，5000和1000ppm）的CO的響應(yīng)情況；測(cè)試并分析了1%CO在50和100℃下響應(yīng)度的差異，計(jì)算了通入1%CO前后器件的肖特基勢(shì)壘高度的變化和靈敏度隨電壓的分布關(guān)系.結(jié)果表明，器件的靈敏度強(qiáng)烈依賴于器件的工作溫度和通入的氣體濃度，隨著溫度和濃度的增加，器件的靈敏度呈單調(diào)增加，器件在100℃空氣氣氛中表現(xiàn)出了良好恢復(fù)性能.
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