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本論文介紹了寬帶數(shù)控延時線的工作原理、電路設(shè)計(jì)、微波單片電路制作工 藝以及測試技術(shù)。本文的數(shù)控延時線芯片采用 GaAs PHEMT 材料和微波單片集成 電路工藝，采用了電路和電磁場仿真相結(jié)合的設(shè)計(jì)方法。同時，所有延時位在延 時支路采用常阻延時網(wǎng)絡(luò)，從而實(shí)現(xiàn)了高延時精度、大延時量等性能。 典型 GaAs MMIC 數(shù)控延時線芯片主要性能指標(biāo)測試結(jié)果為： 工作頻率：2～18GHz；延時位：6 位；插入損耗≤22.0dB；總延時量為 315ps； 駐波比≤2.5:1。 測試結(jié)果均達(dá)到了設(shè)計(jì)要求，較好的驗(yàn)證了砷化鎵微波單片集成電路設(shè)計(jì)理 論，也為今后的改進(jìn)設(shè)計(jì)提供了重要的參考。最后還針對測試結(jié)果給出了相應(yīng)的 理論分析。
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