在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

電子發燒友App

硬聲App

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示
電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>納米材料論文>集成高輻射率納米結構的MEMS紅外光源研究

集成高輻射率納米結構的MEMS紅外光源研究

2018-02-11 | rar | 7.59 MB | 次下載 | 3積分

資料介紹

  微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS紅外光源基于熱輻射原理,具有體積小、功耗低、調制頻率高、波長范圍寬、壽命長等特點。隨著納米技術及納米結構與傳感器的集成逐漸成為關注的熱點,本文創新性地采用等離子體工藝制備了高輻射率的納米結構,并集成于MEMS紅外光源上,大幅提升了光源的輻射效率。

  本論文的工作分為以下幾個方面:研究了MEMS紅外光源的國內外發展現狀;從紅外輻射的理論出發,對基于多晶硅熱阻材料的MEMS紅外光源進行了理論設計分析,并在此基礎上完成了結構設計的ANSYS仿真和多晶硅摻雜的TCAD仿真優化;對集成于光源的高輻射率納米結構進行了微觀機理分析及FDTD仿真優化,并完成了基于硅基底及碳基底的納米結構的制備及表征,同時對MEMS紅外光源制備過程中涉及的關鍵工藝進行了單步工藝開發;在此基礎上,整合出了基于多晶硅的整體工藝流程并進行了流片實驗;對封裝完成的MEMS紅外光源進行了動態及靜態性能測試。

  本文研制的MEMS紅外光源的特點在于,利用不同的等離子工藝刻蝕硅基底形成中紅外波段高輻射率的納米結構,并集成于光源表面,由此大幅提升紅外光源的輻肘效率及電光轉換效率。與已有的MEMS紅外光源相比,通過集成寬光譜范圍的高輻射率納米結構,能夠增加窄波段范圍內的紅外光譜輻射強度,并且通過控制熱電阻的輸入電壓可以控制紅外光源輻射的窄波段范圍,提高利用率,利于實現產業化推廣。測試結果顯示,制備的高輻射率納米結構的輻射光譜范圍在2~8ym,輻射率高達85%以上;集成高輻射率納米結構的MEMS紅外光源在63 1.6mW的輸入功率下,輻射區溫度可以達到280~460℃,輻射能量比未集成時提高了101.2%,在50Hz的調制頻率下,調制深度可達3 0%。光源的靜態特性和動態特性均能滿足紅外氣體傳感器的應用需求。

  此外,本文還研究了基于其他不同熱電阻材料的高輻射率MEMS紅外光源制備,例如,Pt、非晶碳等。這為后期制備多種不同類型的MEMS紅外光源奠定堅實的基礎。

下載該資料的人也在下載 下載該資料的人還在閱讀
更多 >

評論

查看更多

下載排行

本周

  1. 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費下載
  2. 0.00 MB  |  1491次下載  |  免費
  3. 2單片機典型實例介紹
  4. 18.19 MB  |  93次下載  |  1 積分
  5. 3S7-200PLC編程實例詳細資料
  6. 1.17 MB  |  27次下載  |  1 積分
  7. 4筆記本電腦主板的元件識別和講解說明
  8. 4.28 MB  |  18次下載  |  4 積分
  9. 5開關電源原理及各功能電路詳解
  10. 0.38 MB  |  11次下載  |  免費
  11. 6100W短波放大電路圖
  12. 0.05 MB  |  4次下載  |  3 積分
  13. 7基于AT89C2051/4051單片機編程器的實驗
  14. 0.11 MB  |  4次下載  |  免費
  15. 8基于單片機的紅外風扇遙控
  16. 0.23 MB  |  3次下載  |  免費

本月

  1. 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
  2. 0.00 MB  |  234313次下載  |  免費
  3. 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
  4. 0.00 MB  |  66304次下載  |  免費
  5. 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
  6. 0.00 MB  |  51209次下載  |  免費
  7. 4LabView 8.0 專業版下載 (3CD完整版)
  8. 0.00 MB  |  51043次下載  |  免費
  9. 5555集成電路應用800例(新編版)
  10. 0.00 MB  |  33562次下載  |  免費
  11. 6接口電路圖大全
  12. 未知  |  30320次下載  |  免費
  13. 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
  14. 0.00 MB  |  28588次下載  |  免費
  15. 8開關電源設計實例指南
  16. 未知  |  21539次下載  |  免費

總榜

  1. 1matlab軟件下載入口
  2. 未知  |  935053次下載  |  免費
  3. 2protel99se軟件下載(可英文版轉中文版)
  4. 78.1 MB  |  537791次下載  |  免費
  5. 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
  6. 未知  |  420026次下載  |  免費
  7. 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
  8. 0.00 MB  |  234313次下載  |  免費
  9. 5Altium DXP2002下載入口
  10. 未知  |  233046次下載  |  免費
  11. 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
  12. 340992  |  191183次下載  |  免費
  13. 7十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
  14. 158M  |  183277次下載  |  免費
  15. 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
  16. 未知  |  138039次下載  |  免費
主站蜘蛛池模板: 在线观看视频在线观看 | 8844aa在线毛片 | 久久人成 | 一级毛片真人免费观看 | 免费视频在线看 | 一级做a爱 | 国产精品美女久久久久网 | 中国特黄毛片 | 欧美在线天堂 | 亚洲伊人精品综合在合线 | 日韩激情淫片免费看 | 国产亚洲精品自在久久77 | 有码日韩| 国模私拍大尺度视频在线播放 | 国产高清色视频免费看的网址 | 天天操穴 | 深深激情网 | 国产亚洲欧美日本一二三本道 | 午夜欧美电影 | 三级网站国产 | 91色视频网站 | 狠狠色丁香婷婷综合小时婷婷 | 欧美国产在线一区 | 免费黄色一级毛片 | 婷婷六月丁香色婷婷网 | 丁香婷婷在线视频 | 天天做天天爱夜夜想毛片 | 午夜三级网 | 美女视频很黄很暴黄是免费的 | 自偷自拍亚洲欧美清纯唯美 | 国产h视频在线观看高清 | 免费又黄又硬又大爽日本 | 欧美一区二区三区影院 | 国产三a级日本三级日产三级 | 国产亚洲新品一区二区 | 91久久人澡人人添人人爽 | 黄色片不卡| 伊人7| 99久久99久久免费精品蜜桃 | 免费色片网站 | brazzersvideosex欧美高清 |