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???????? 本文介紹潔凈室空氣處理系統自動控制的設計和應用。概述了MAH 的控制原理，詳細地闡述了潔凈室露點和溫度的控制，并簡要地介紹了潔凈室正壓差控制和設備的群控原則。最后給出了PLC 在半導體潔凈廠房控制系統的應用實例。
關鍵詞：空氣處理，露點，溫度，工程實例
???????? 目前中央空調系統的自動控制主要有DDC 和PLC 兩種方式，DDC 固化了專門的控制策略，在辦公大樓等民用領域使用較多。而PLC 具有可靠性高、網絡通訊靈活、控制功能強、性價比高的特點，使得其在工業領域的環境控制如半導體潔凈廠房的中央空調自控系統中得到了廣泛使用。
???????? HVAC 的空氣處理系統主要實現對潔凈區域的露點、溫度和正壓差的嚴格控制，防止靜電損壞集成電路、空氣中水分結露和粉塵對產品的污染,同時保持室內空氣的新鮮度以使人體舒適。因此系統采用了可以獨立實現加熱、制冷、除濕、再熱和送風的功能全新風空調機組MAH，以滿足主要工藝參數指標和舒適性的要求。
???????? 根據相關的設計規范[1]和實際工藝的要求，潔凈室的主要工藝參數分別控制在：室內溫度(22±2℃) ,室內露點(10±1.5℃),潔凈室對室外大氣的正壓差(10Pa) 。
本文以某半導體芯片封裝測試廠潔凈室的空氣處理系統的控制為例，著重討論空氣處理
控制系統的設計和PLC 在其中的應用。
關鍵詞：空氣處理，露點，溫度，工程實例
???????? 目前中央空調系統的自動控制主要有DDC 和PLC 兩種方式，DDC 固化了專門的控制策略，在辦公大樓等民用領域使用較多。而PLC 具有可靠性高、網絡通訊靈活、控制功能強、性價比高的特點，使得其在工業領域的環境控制如半導體潔凈廠房的中央空調自控系統中得到了廣泛使用。
???????? HVAC 的空氣處理系統主要實現對潔凈區域的露點、溫度和正壓差的嚴格控制，防止靜電損壞集成電路、空氣中水分結露和粉塵對產品的污染,同時保持室內空氣的新鮮度以使人體舒適。因此系統采用了可以獨立實現加熱、制冷、除濕、再熱和送風的功能全新風空調機組MAH，以滿足主要工藝參數指標和舒適性的要求。
???????? 根據相關的設計規范[1]和實際工藝的要求，潔凈室的主要工藝參數分別控制在：室內溫度(22±2℃) ,室內露點(10±1.5℃),潔凈室對室外大氣的正壓差(10Pa) 。
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