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為了提高硅片光刻工藝中 — 涂膠及軟烘兩操作的實驗效率，減少手工操作可能帶
來對硅片表面的污染。系統(tǒng)采用機(jī)械手代替手工完成硅片在各工位之間自動化傳輸。硬件部分采用PLC 作為控制核心部件，由步進(jìn)電機(jī)、接近開關(guān)、光電開關(guān)、熱電阻、電磁閥等組成。詳細(xì)介紹了軟件控制方法，實現(xiàn)硅片精確傳輸、光刻膠用量控制、軟烘溫度檢測等功能。
來對硅片表面的污染。系統(tǒng)采用機(jī)械手代替手工完成硅片在各工位之間自動化傳輸。硬件部分采用PLC 作為控制核心部件，由步進(jìn)電機(jī)、接近開關(guān)、光電開關(guān)、熱電阻、電磁閥等組成。詳細(xì)介紹了軟件控制方法，實現(xiàn)硅片精確傳輸、光刻膠用量控制、軟烘溫度檢測等功能。
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