在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

電子發(fā)燒友App

硬聲App

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評(píng)論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示
創(chuàng)作
電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>電容式硅微加速度計(jì)變換方程的研究

電容式硅微加速度計(jì)變換方程的研究

2009-06-22 | rar | 105 | 次下載 | 5積分

資料介紹

研究了利用硅薄片為敏感元件的電容式加速度計(jì),加速度計(jì)的懸臂梁與慣性質(zhì)量塊是一
個(gè)整體結(jié)構(gòu),可以消除元件彈性連接的不完善性,而且極板間隙中空氣相對(duì)介電常數(shù)εr 的高穩(wěn)定性是這種電容式傳感器的優(yōu)點(diǎn)之一。給出了敏感元件的實(shí)際彎曲函數(shù),分析了其變換方程及非線性。研究表明,在設(shè)計(jì)電容式硅微加速度計(jì)時(shí),只要間隙調(diào)制深度在- 0. 5~ + 0. 5 ,加速度計(jì)的變換函數(shù)基本滿足線性,得到的變換方程可以作為合理選擇電容式加速度計(jì)的電極結(jié)構(gòu)參數(shù)的理論依據(jù)。
關(guān)鍵詞:微加速度計(jì);變換方程;非線性誤差
  Abstract :Capacitance silicon microstructure accelerometer was studied. The cantilever beam and inertial mass of ac2 celerometer were joined together to reduce the shortcoming of the elements joining. The highly stationality of air relative dielectric constant in electrode plate clearance is one of the advantages of the capacitance sensor. Transform equation and its
nonlinearity were analyzed ,and the bend function of sensitive element was given. Studies results indicate that the transform function of accelerometer was linearity as long as the depth of clearance modulation was kept - 0. 5 and + 0. 5. It renders a theoretic bas for choosing rational electrode configuration parameters.
Key Words :Microstructure Accelerometer ; Transpositional Equation ;Nonlinearity Error
下載該資料的人也在下載 下載該資料的人還在閱讀
更多 >

評(píng)論

查看更多

下載排行

本周

  1. 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費(fèi)下載
  2. 0.00 MB  |  1490次下載  |  免費(fèi)
  3. 2單片機(jī)典型實(shí)例介紹
  4. 18.19 MB  |  93次下載  |  1 積分
  5. 3S7-200PLC編程實(shí)例詳細(xì)資料
  6. 1.17 MB  |  27次下載  |  1 積分
  7. 4筆記本電腦主板的元件識(shí)別和講解說明
  8. 4.28 MB  |  18次下載  |  4 積分
  9. 5開關(guān)電源原理及各功能電路詳解
  10. 0.38 MB  |  11次下載  |  免費(fèi)
  11. 6100W短波放大電路圖
  12. 0.05 MB  |  4次下載  |  3 積分
  13. 7基于AT89C2051/4051單片機(jī)編程器的實(shí)驗(yàn)
  14. 0.11 MB  |  4次下載  |  免費(fèi)
  15. 8基于單片機(jī)的紅外風(fēng)扇遙控
  16. 0.23 MB  |  3次下載  |  免費(fèi)

本月

  1. 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
  2. 0.00 MB  |  234313次下載  |  免費(fèi)
  3. 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
  4. 0.00 MB  |  66304次下載  |  免費(fèi)
  5. 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
  6. 0.00 MB  |  51209次下載  |  免費(fèi)
  7. 4LabView 8.0 專業(yè)版下載 (3CD完整版)
  8. 0.00 MB  |  51043次下載  |  免費(fèi)
  9. 5555集成電路應(yīng)用800例(新編版)
  10. 0.00 MB  |  33562次下載  |  免費(fèi)
  11. 6接口電路圖大全
  12. 未知  |  30320次下載  |  免費(fèi)
  13. 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
  14. 0.00 MB  |  28588次下載  |  免費(fèi)
  15. 8開關(guān)電源設(shè)計(jì)實(shí)例指南
  16. 未知  |  21539次下載  |  免費(fèi)

總榜

  1. 1matlab軟件下載入口
  2. 未知  |  935053次下載  |  免費(fèi)
  3. 2protel99se軟件下載(可英文版轉(zhuǎn)中文版)
  4. 78.1 MB  |  537791次下載  |  免費(fèi)
  5. 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
  6. 未知  |  420026次下載  |  免費(fèi)
  7. 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
  8. 0.00 MB  |  234313次下載  |  免費(fèi)
  9. 5Altium DXP2002下載入口
  10. 未知  |  233046次下載  |  免費(fèi)
  11. 6電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
  12. 340992  |  191183次下載  |  免費(fèi)
  13. 7十天學(xué)會(huì)AVR單片機(jī)與C語言視頻教程 下載
  14. 158M  |  183277次下載  |  免費(fèi)
  15. 8proe5.0野火版下載(中文版免費(fèi)下載)
  16. 未知  |  138039次下載  |  免費(fèi)
主站蜘蛛池模板: 在线观看黄a | 一级做a爰片久久毛片看看 一级做a爰片久久毛片毛片 | 四虎在线成人免费网站 | www.一区二区三区 | 国产一级做a爰片久久毛片男 | 久久狠色噜噜狠狠狠狠97 | 欧美午夜精品一区二区三区 | 六月婷婷网视频在线观看 | 在线观看亚洲人成网站 | 国产成人亚洲影视在线 | 国产精品久久久久天天影视 | 天天综合天天添夜夜添狠狠添 | 欧美女同在线观看 | 黄色免费在线视频 | 日韩三级视频在线观看 | 久久的色偷偷 | 亚洲成a人片在线网站 | 九九热在线免费观看 | 国产亚洲欧美成人久久片 | 天天精品在线 | 午夜精品一区二区三区在线视 | 欧洲精品码一区二区三区免费看 | 国产午夜免费视频 | 无人码一区二区三区视频 | 国产午夜精品片一区二区三区 | 毛片网站免费在线观看 | 欧美tube最新的69hd | 激情五月俺来也 | 欧美视频区| 黄网在线免费观看 | 天天干影院 | 色色视频免费网 | 奇米狠狠操 | 久热网 | 欧美一级日韩在线观看 | 欧美天天搞 | 六月婷婷视频 | 日本黄色电影在线 | www.丁香| 免费观看黄视频网站 | 日韩精品视频免费观看 |