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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>提高微壓傳感器靈敏度的深盆腔壓力膜片研究( 二)

提高微壓傳感器靈敏度的深盆腔壓力膜片研究( 二)

2009-06-22 | rar | 107 | 次下載 | 2積分

資料介紹

ANSYS - 5. 7 被用來進行有限元分析。首先根據硅微機械技術的特點對3 種膜片進行建模。圖2 (a)中的平膜沒有什么特殊性,但圖2 (b) 和圖2 (c) 的波紋膜和深盆腔膜則有一定的形狀要求。統一將3 種膜的水平面積固定為1 ×1 (mm2) ,其中對波紋膜只在圖中
顯示了1/ 4 面積。膜厚都選表面微機械薄膜的典型值為1. 2μm. 考慮波紋膜和盆腔膜的形成很可能要在各向異性腐蝕的硅上生長,故確定了圖中54. 74°的角度。對于方膜上波紋的排布和波紋深度,
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