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隨著波導(dǎo)材料的研究和進(jìn)展,采用新的波導(dǎo)材料設(shè)計(jì)出了一種波導(dǎo)式壓力傳感器,就光波導(dǎo)壓力傳感器的原理和特性作了一個簡要闡述,對它的工藝流程作了詳細(xì)的描述。
關(guān)鍵詞:光波導(dǎo)壓力傳感器; 硅微機(jī)械法; 結(jié)構(gòu); 原理; 特性
Abstract :With the development and research of wave guide material ,the new wave guide materials were adopted to design a new optical wave guide pressure sensor. The structure ,character and principle of the optical wave guide pressure sensor were expounded here. The fabrication process was discussed.
Key words :optical wave guide pressure sensor ; silicon micro machined ; structure ; principle ; character
關(guān)鍵詞:光波導(dǎo)壓力傳感器; 硅微機(jī)械法; 結(jié)構(gòu); 原理; 特性
Abstract :With the development and research of wave guide material ,the new wave guide materials were adopted to design a new optical wave guide pressure sensor. The structure ,character and principle of the optical wave guide pressure sensor were expounded here. The fabrication process was discussed.
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