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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>振梁式負壓傳感器

振梁式負壓傳感器

2009-07-02 | rar | 190 | 次下載 | 5積分

資料介紹

對負壓力的測量可采用各種真空計或者負壓傳感器,但其輸出量大多為非電量或模擬式電量。本文制作了一種電熱激勵的微懸臂梁諧振式負壓傳感器,它利用隨微懸臂梁振動的氣體分子等效于增加微梁慣性質量的原理測量氣壓或氣體密度。利用Navier2Stokes 方程和連續性方程計算作用在微懸臂梁上的慣性阻力,進而計算出諧振器諧振頻率與氣壓的關系。分析表明:增大梁的寬度,減小梁的厚度和長度可提高傳感器的靈敏度。
關鍵詞:微懸臂梁;負壓傳感器
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