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介紹了一種新型的三端鎳鈷薄膜磁敏傳感器的設(shè)計(jì)、制造及工作原理,并給出了該傳感器性能指標(biāo)。
關(guān)鍵詞:磁敏傳感器;設(shè)計(jì)與制造;工作原理
Abstract :The design and fabrication of Ni2Co magnetic2sensing sensor which works on the principle of magnetoresistance are de2 scribed. The leading features of this sensor include fine resolution , contactless ,small ,lightweight and long service lift . The results of the performance test show that the resolution factor of the sensor has 1. 6 ms/ ℃.
Key words :magnetoresistance sensor ;design and fabrication ;work2 ing principle
關(guān)鍵詞:磁敏傳感器;設(shè)計(jì)與制造;工作原理
Abstract :The design and fabrication of Ni2Co magnetic2sensing sensor which works on the principle of magnetoresistance are de2 scribed. The leading features of this sensor include fine resolution , contactless ,small ,lightweight and long service lift . The results of the performance test show that the resolution factor of the sensor has 1. 6 ms/ ℃.
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