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利用哈特曼夏克傳感器測(cè)量圓孔徑內(nèi)波像差時(shí),通常使用澤尼克模式復(fù)原算法。推導(dǎo)了一般情況下哈特曼夏克傳感器澤尼克模式波前復(fù)原誤差的計(jì)算公式。用哈特曼夏克傳感器測(cè)量一個(gè)像差板的隨機(jī)靜態(tài)像差,通過與ZYGO 干涉儀的測(cè)量結(jié)果比較,得到不同澤尼克模式復(fù)原階數(shù)下的波前復(fù)原誤差的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,并與理論計(jì)算結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比。
關(guān)鍵詞: 哈特曼夏克傳感器; 模式波前復(fù)原; 澤尼克多項(xiàng)式
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