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基于硅結(jié)構(gòu)的微流體控制系統(tǒng)(μFCs) 是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 中的一個(gè)重要分支,可廣泛用于生物、醫(yī)學(xué)、化工、電子等領(lǐng)域。主要綜述了微流體控制系統(tǒng)中的微流體傳感器、微型泵、微型閥的工作結(jié)構(gòu)原理及其國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀,同時(shí)還探討了集成微流體控制系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀。
關(guān) 鍵 詞:微機(jī)電系統(tǒng);微流體控制系統(tǒng);微流體傳感器;微型泵;微型閥
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