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微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指運(yùn)用微電子加工技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù),在較小的物理尺寸上,集成了微機(jī)械元件,微傳感器,微機(jī)械執(zhí)行器,微電子元件、電路和供能部件的器件或是系統(tǒng)。目前供能問題已經(jīng)成為MEMS 降低成本、進(jìn)入實(shí)用化、自動化的最大障礙。現(xiàn)有的一個(gè)解決方案是微能源。介紹了微能源技術(shù)的發(fā)展和技術(shù)現(xiàn)狀,分別討論了微型內(nèi)燃機(jī)系統(tǒng)、微燃料電池、微太陽電池、微型鋰電池、微型核電池等幾種微能源的制造工藝,工作特性以及應(yīng)用現(xiàn)狀。簡單分析了微能源的發(fā)展方向和應(yīng)用前景。
關(guān)鍵詞:微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS) ;微能源;制造工藝;工作特性
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