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光柵傳感器是一類精密傳感器, 在直線位移或角位移的測(cè)量中有廣泛的應(yīng)用。但在工業(yè)應(yīng)用中, 除各種電磁干擾外, 還有微小機(jī)械振動(dòng)產(chǎn)生的干擾以及溫度誤差等, 使測(cè)量精度大大下降。本文提出了在后續(xù)處理電路和信號(hào)處理方法上解決這一問題, 提高傳感器精度、分辨率和抗干擾能力的綜合方法, 如分頻、溫度補(bǔ)償、定時(shí)器飛讀和計(jì)數(shù)脈沖確認(rèn)機(jī)制等。在實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn), 應(yīng)用這些方法的測(cè)量系統(tǒng)的穩(wěn)定性、抗干擾能力和精度等指標(biāo)都得到提高。
關(guān)鍵詞: 光柵: 位移傳感器; 信號(hào)處理; 干擾
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