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建立了微機械電容式加速度傳感器的等效電學模型,通過振動特性的等效電路模型分析了
加速度傳感器對正弦加速度信號,階躍加速度信號,及存在反饋時的直流加速度信號的振動位移響應情況;利用壓控電容模型分析了加速度傳感器檢測正弦加速度信號時的小電容檢測電路的性能。模擬結果表明采用反饋可以拓寬加速度傳感器的測量范圍,利用等效電學模型可以優化接口電路的整體性能。
關鍵詞:微機械加速度傳感器;等效電路模型;壓控電容模型;模擬
加速度傳感器對正弦加速度信號,階躍加速度信號,及存在反饋時的直流加速度信號的振動位移響應情況;利用壓控電容模型分析了加速度傳感器檢測正弦加速度信號時的小電容檢測電路的性能。模擬結果表明采用反饋可以拓寬加速度傳感器的測量范圍,利用等效電學模型可以優化接口電路的整體性能。
關鍵詞:微機械加速度傳感器;等效電路模型;壓控電容模型;模擬
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