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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>四探針Rymaszewski法電阻率測量新型電路

四探針Rymaszewski法電阻率測量新型電路

2010-04-30 | rar | 139 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘要:為了適應半導體生產工藝發展的要求,我們開發了一種利用改進的Rymaszewski法進行四探針硅片電阻率測量的單片機電路。它主要包括恒流源和電壓測量電路兩部分。它不僅可以顯示恒流源電流以便在其發生變化時進行調整,而且可以方便地實現四根探針分別經過四次輪換供給電流和測量電壓,進而提高測量結果的精確性。
關鍵詞:四探針;恒流源;ICL7107;CD4052
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