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摘要：接口電路是懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺研制中的關(guān)鍵技術(shù)之一。本文對(duì)靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的差分電容結(jié)構(gòu)建立其簡(jiǎn)化數(shù)學(xué)模型，并結(jié)合Sigma—Delta技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)提出了一種新穎的閉環(huán)檢測(cè)電路。該檢測(cè)電路能夠直接輸出數(shù)字信號(hào)，系統(tǒng)穩(wěn)定性好，對(duì)陀螺失效具有自檢特性并且能夠有效避免陀螺的鎖住。與通常采用的調(diào)制解調(diào)方法相比，該檢測(cè)電路大大節(jié)省了器件，因此非常適用于對(duì)微陀螺原型進(jìn)行測(cè)試評(píng)估。對(duì)該檢測(cè)電路的仿真結(jié)果表明，其靈敏度為2V／g，動(dòng)態(tài)范圍約為1g。
關(guān)鍵詞：Sigma—Delta；MEMS；靜電懸浮；微陀螺；閉環(huán)檢測(cè)
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