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?? Provides exceptionally high spatial
and electrical resolution
? Offers highest sensitivity and
dynamic range in the industry
? Enables complex impedance
(resistance and reactance),
calibrated capacitance, calibrated
dopant density, and topography
measurements
? Works on all semiconductors: Si,
Ge, III-V (e.g., GaAs, InAs, GaN),
and II-VI (e.g., CdTe, ZnSe)
? Operates at multiple frequencies
(variable up to 6 GHz)
? Does not require an oxide layer
?? Provides exceptionally high spatial
and electrical resolution
? Offers highest sensitivity and
dynamic range in the industry
? Enables complex impedance
(resistance and reactance),
calibrated capacitance, calibrated
dopant density, and topography
measurements
? Works on all semiconductors: Si,
Ge, III-V (e.g., GaAs, InAs, GaN),
and II-VI (e.g., CdTe, ZnSe)
? Operates at multiple frequencies
(variable up to 6 GHz)
? Does not require an oxide layer
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