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電子發燒友網>電子資料下載>測試測量>ATHENA溫控器的用戶手冊免費下載

ATHENA溫控器的用戶手冊免費下載

2020-04-17 | pdf | 8.35 MB | 次下載 | 2積分

資料介紹

  ATHENA是一個模擬器,提供一般的能力,數值,物理基礎,二維模擬半導體加工。ATHENA有一個模塊化的架構,可以使用以下許可的工具和擴展:?ATHENA:該工具執行結構初始化和操作,并提供基本的沉積和蝕刻設備?SSUPREM4:該工具用于硅半導體結構的設計、分析和優化。它模擬了硅的離子注入、擴散和氧化等過程。?ELITE:該工具是一個通用的二維地形模擬器,可精確描述現代集成電路技術中使用的各種沉積、蝕刻和回流工藝。?OPTOLITH:該工具執行一般光學光刻模擬,包括二維航空成像、非平面光刻膠曝光、曝光后烘焙和顯影。

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