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ATHENA是一個模擬器，提供一般的能力，數(shù)值，物理基礎(chǔ)，二維模擬半導(dǎo)體加工。ATHENA有一個模塊化的架構(gòu)，可以使用以下許可的工具和擴展：?ATHENA：該工具執(zhí)行結(jié)構(gòu)初始化和操作，并提供基本的沉積和蝕刻設(shè)備?SSUPREM4：該工具用于硅半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的設(shè)計、分析和優(yōu)化。它模擬了硅的離子注入、擴散和氧化等過程。?ELITE：該工具是一個通用的二維地形模擬器，可精確描述現(xiàn)代集成電路技術(shù)中使用的各種沉積、蝕刻和回流工藝。?OPTOLITH：該工具執(zhí)行一般光學(xué)光刻模擬，包括二維航空成像、非平面光刻膠曝光、曝光后烘焙和顯影。
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