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標簽 > 微機電系統
微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統。
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Analog Devices Inc. ADIS1657x精密MEMS IMU模塊數據手冊
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DLP2000 0.20英寸nHD DLP?數字微鏡器件數據手冊
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