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擴散爐+關注0人關注

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　　擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，由控制系統、進出舟系統、爐體加熱系統和氣體控制系統等組成，主要用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，能夠實現日志記錄，曲線記錄，程序編輯，遠程控制等多種功能。

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