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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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本文是關于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內容,分為兩部分,共計212頁PPT內容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類,基本敏感原理介紹,M...
光線傳感器和距離傳感器一般都是放在一起,位于手機屏幕聽筒周圍。這樣就存在一個問題,手機屏幕上方開太多洞或黑色長條不太好看,各大手機廠商都一直在想方設法減...
具體而言,傳感器通過檢測手機當前位置的大氣壓力,利用大氣壓與海拔高度的換算關系,將壓力轉化為海拔高度,即可實現GPS輔助定位,為用戶提供精準的海拔信息。...
根據上述4顆MEMS芯片(3種類型:X/Y軸陀螺儀、Z軸陀螺儀和三軸加速度計)的結構剖析及材料分析,繪制出MEMS芯片結構示意圖,并以X/Y軸陀螺儀為例...
從國內產業的發展歷程來看,1986年國家將傳感器技術列入國家重點攻關項目,到2000年傳感器技術體系和產業初步建立,國產傳感器技術水平不斷進步。
當外界環境溫度變化時, MEMS芯片上的硅烷偶聯劑與硅膠表面結合發生化學反應,使硅烷的化學性質也隨之發生變化,當此變化超過硅烷的臨界值時,將引起硅烷偶聯...
良好的機械強度:玻璃是一種相對堅固且耐用的材料,可以保護MEMS器件免受機械應力的影響。另外,不同于金屬或其他材料, 玻璃材料不會產生疲勞效應。適用于長...
導電聚合物因其高離子電導率和優異的機械柔性等獨特優勢,被認為是一種極具潛力的智能材料。
數十年來,基于石英的時鐘器件一直為航空航天和國防應用提供參考時鐘。盡管,多年來基于石英的振蕩器不斷增強以改進其缺點,但其固有不足使其成為下一代防御系統(...
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標準量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
SPI至RS-422/RS-1設計解決方案的詳細物理層設計注意事項
為MEMS實現有線物理層接口的常見挑戰包括管理EMC魯棒性和數據完整性。然而,當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
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