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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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p>ADI MEMS開關技術,是開關解決方案發展史上的一次革命,可以滿足RF儀器儀表和測試系統的需要,瞄準的是繼電器替代需求。2016年國際電子展嵌入式...
視頻分享的新世界中,微型投影儀任何時間和地點都可使用。一些創新的應用,例如虛擬鍵盤,舞臺上虛擬人物、看手上的血管、汽車前擋風玻璃上的地圖等。投影主要有三...
基于MEMS姿態傳感器主要用于載體姿態的調整和傾角的檢測,但是由于工作環境溫度的改變,就會導致測量精度的變化,在一些高精度檢測的要求下,則失去其檢測的效...
MEMS封裝技術主要源于IC封裝技術。IC封裝技術的發展歷程和水平代表了整個封裝技術(包括MEMS封裝和光電子器件封裝)的發展歷程及水平。MEMS中的許...
加速度傳感器有兩種:一種是角加速度傳感器,是由陀螺儀改進過來的。另一種就是線加速度傳感器。它也可以按測量軸分為單軸、雙軸和三軸加速度傳感器。
微流控芯片采用類似半導體的微機電加工技術在芯片上構建微流路系統,將實驗與分析過程轉載到由彼此聯系的路徑和液相小室組成的芯片結構上,加載生物樣品和反應液后...
當外界環境溫度變化時, MEMS芯片上的硅烷偶聯劑與硅膠表面結合發生化學反應,使硅烷的化學性質也隨之發生變化,當此變化超過硅烷的臨界值時,將引起硅烷偶聯...
微型機電系統(MEMS)開關一直被標榜為性能有限的機電繼電器的出色替代器件,因為它易于使用,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數百GH...
微型干簧開關已經實現了各種各樣的應用,要求高可靠性,小尺寸和低成本。簡單地說,微機械加工技術是利用半導體制造設備以創造微機械的方式為特定目的服務的系統。...
什么是MEMS? 微機電系統(MEMS),在歐洲也被稱為微系統技術,或在日本被稱為微機械,是一類器件,其特點是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征...
2017-12-15 標簽:mems 5291 0
MEMS麥克風含一個可移動的膜片和靜態背板,采用常見的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔,允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設計是為...
最近幾年,自動駕駛成為人們關注的焦點,許多諸如谷歌、百度等企業家都不遺余力地發展自動駕駛,以期能夠實現這項造福人類的技術。
了解相比基于VCM的傳統方法,該光學圖像穩定(OIS)解決方案如何提供更快穩定性、更高精度和更低功耗。
這款最新類型的MEMS加速度計具有低噪聲、高工作頻率性能,針對條件監測可實現全新的產品設計。MEMS加速度計采用單電源工作,具有穩定的靈敏度、抗沖擊、低...
高性能運動跟蹤技術已經從深奧的軍事、航空電子設備、海洋和工業應用遷移到不斷擴大的消費應用范圍。盡管如此,將高性能運動跟蹤引入消費市場通常會迫使設計人員協...
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