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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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實際上,早在1951年,Chang和Read就在金鎳合金中觀察到了形變再加熱能變回原形的這一奇特的現(xiàn)象。Buehler在上世紀60年代發(fā)現(xiàn)了NiTi合金...
傳統(tǒng)機械加工方法指利用大機器制造小機器,再利用小機器制造微機器。可以用于加工一些在特殊場合應用的微機械裝置,例如微型機械手、微型工作臺等。
2020-07-21 標簽:memsMEMS技術(shù) 5181 0
村田通過MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達到了小型化,并實現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
汽車內(nèi)的顯示和信息系統(tǒng)非常豐富,層出不窮地包圍著我們,有些信息非常重要,有些則是為了舒適性或娛樂,有的則僅僅是提供資訊,這很有價值,但又非必需。作為一名...
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動的方式。
近年來,基于MEMS的超聲換能器技術(shù)一直處于快速發(fā)展和增長階段,廣泛應用于醫(yī)療陣列成像、手勢識別、內(nèi)窺成像、指紋識別等領(lǐng)域。
基于MEMS的加速度計實現(xiàn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應用
經(jīng)典物理學習運動的基本方程:力=質(zhì)量×加速度,其中加速度定義為速度的變化(其時間導數(shù)),速度是位置的變化(位置的時間導數(shù))。加速度在數(shù)字上表示為SI(公...
2019-03-22 標簽:mems加速度計工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 5075 0
基于MEMS投影顯示技術(shù)創(chuàng)新型應用
想象一下,你的汽車遮陽板上夾著一個后裝的平視顯示(HUD)產(chǎn)品,它能夠?qū)⑿旭偡较蛲渡涞綋躏L玻璃上。再試想一下,你的一臺內(nèi)置微型投影儀的平板電腦,使你能夠...
2018-06-05 標簽:mems平視顯示技術(shù) 5057 0
MEMS生物微針技術(shù)出現(xiàn)了并不是很長的時間,下面就微針較為廣泛的三個方面的應用原理及當前該技術(shù)的最新進展進行闡述。
目前,氣體傳感器的應用日趨廣泛,在物聯(lián)網(wǎng)等泛在應用的推動下,其技術(shù)發(fā)展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能
MEMS 麥克風中數(shù)字 PDM 和 I2S 接口之比較
作者:Jeff Smoot 麥克風用在嵌入式系統(tǒng)中已經(jīng)有很多年了。然而,自其誕生以來,由于家居、汽車和可穿戴設(shè)備中基于語音的應用范圍不斷擴大,MEMS麥...
實現(xiàn)最優(yōu)的傳感器:ASIC與MEMS協(xié)同設(shè)計方法
為了實現(xiàn)最優(yōu)的傳感器,強烈推薦基于傳感器總體目標規(guī)格的ASIC與MEMS協(xié)同設(shè)計方法,而不是針對已經(jīng)設(shè)計好的MEM再進行ASIC設(shè)計。
在上一期的小課堂,《聲光偏轉(zhuǎn)器及其應用連載一:聲光偏轉(zhuǎn)器原理》中我們詳細的介紹了聲光偏轉(zhuǎn)器的相關(guān)基礎(chǔ)理論和主要性能指標,這一期的連載我們來談一談聲光偏轉(zhuǎn)...
麥姆斯咨詢:MEMS設(shè)計與IC不同,其可廣泛應用于機械、光學、磁場、流體和生物學領(lǐng)域,因而所使用的幾何形狀也就千變?nèi)f化,較為繁復。
有許多因素導致加速度計技術(shù)的快速發(fā)展。首先是這類設(shè)備的市場不斷擴大,特別是在汽車,消費品和醫(yī)療電子產(chǎn)品領(lǐng)域,加速度計可以實現(xiàn)幫助產(chǎn)品在市場上取得成功的新...
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