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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS(微型機電系統) 麥克風是基于MEMS技術制造的麥克風,簡單的說就是一個電容器集成在微硅晶片上,使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC,...
卡西歐早年就以電機馬達、繼電器等機電產品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一,用MEMS的思路解決傳統機械手表遇到的問題是卡西歐的拿手好戲。所...
HA:MEMS包含各種可動元件并且需要各種檢測工藝。對于不同的檢測工藝通常需要多個步驟,而在產線中具有縮減檢測過程的需求。ViSCO實現了這一目標,提供...
當柵極和源極之間的偏置電壓超過開關閾值電壓時,梁上的觸點便接觸漏極,源極和漏極之間的電路閉合,開關接通。移除偏置電壓后,即柵極上為0V時,懸臂梁像彈簧一...
基于MEMS技術的微型光束操縱器件有望實現更輕、更低成本的激光雷達
“機器人和無人機是絕對可能的應用領域,”Gylfason說,“目前的激光雷達系統對于自動駕駛汽車而言成本過于高昂,而汽車產業對成本非常敏感。其他可能的應...
基于MEMS技術的微型硅基聲吶器件提供了毫米級精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(SoC)控制整個ToF處理過程:發送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數字化,檢測ToF到最近目標并通過I2C返回16位ToF信號。SoC...
ADI公司推出了一款雙軸傾斜計傳感器能提供出小于0.1度線性傾斜誤差
ADIS16209作為業界最精密的微電子機械系統(MEMS)傾斜計,提供小于0.1度線性傾斜誤差的全補償直接角度輸出,從而使其精度提高到至少是同類傾斜傳...
美國國家標準技術研究院將采用非接觸式光學儀器來檢測MEMS的結構
美國國家標準技術研究院把非接觸式光學測量儀器連接在一個基于互聯網的MEMS計算器上。利用簡單有效的光學干涉儀。這個方法使得工程師在光學干涉儀中插入測量值...
在伯克利學習微機電系統工程博士學位期間,Ernest不僅專注于學業,開始專注于射頻MEMS。他在黎明時分在MEMS實驗室開始他的一天,經常整天待在實驗室...
現在,傳感器和傳感器處理方面的技術發展可實現完全嵌入式自主檢測系統的部署,并且能夠可靠地對設備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進行檢測和分析,如圖1所示。
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時間傳感器的詳細資料說明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級精度的距離傳感功能,并具有業內最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測量、位置追蹤、人員...
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