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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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現在,傳感器和傳感器處理方面的技術發展可實現完全嵌入式自主檢測系統的部署,并且能夠可靠地對設備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進行檢測和分析,如圖1所示。
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時間傳感器的詳細資料說明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級精度的距離傳感功能,并具有業內最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測量、位置追蹤、人員...
最新傳感器技術:MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開發了一種帶有集成信號調理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動的情況下也能實現精確...
2019-04-10 標簽:mems 4681 0
北京康斯特儀表科技股份有限公司(以下簡稱“公司”、“本公司”或“康斯特”)于2017年8月15日召開的第四屆董事會第二次會議審議通過了《關于投資建設儀器...
顧杰斌團隊研發的MEMS-Casting?技術實現了MEMS和鑄造的完美結合
MEMS技術與鑄造的結合,緣自它們之間的一個共通點:兩者都是機械部件制造技術,區別在于尺度上存在幾個數量級差異。相對于其他機械加工方法,例如車,銑,拋等...
從消費類多媒體產品到工業自動化和監視系統、網絡和通信基礎設施以及堅固的軍用設備,所有數字電子產品都有一個滴答作響的“心臟”,即一個準確的振蕩器。歷史上,...
近日,意法半導體(ST)在上海召開媒體溝通會,ST模擬、MEMS及傳感器事業部副總裁兼MEMS傳感器產品部總經理Andera ONETTI表示,對于整個...
美國模擬器件公司ADI推出了一款多軸運動傳感器ADIS16355
ADIS16355可以很容易地與工業系統設計融為一體,通過精確的運動分析與控制,提高系統性能,并使設計人員的研制時間縮短長達一年。新的慣性測量裝置擴展了...
本文介紹ADI公司突破性的微機電系統(MEMS)開關技術。與傳統機電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關技術使RF和DC開關性能、可靠性及小型化實現了跨...
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態加速度,你可以分析出設備移動的方式。
“傾角傳感器”顧名思義,就是測量傾斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應用場所極多,隨著MEMS技術的發展,傾角傳感器得到越來越廣泛的應用。適合應用于工廠...
靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅動或摩擦的作用下,殘余電荷會集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
國內外RF MEMS廠商大盤點 5G對我國的RF MEMS廠商來說是機遇也是挑戰
射頻微機電系統(RF MEMS)是MEMS技術的重要應用領域之一,也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RF MEMS用于射頻和微波頻率電路中...
MEMS技術是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的,它開辟了一個全新的技術領域和產業,其目標是把信息的獲取、處理和執行集...
全球導航衛星系統 (GNSS) 非常有用,能夠定位全球任意位置已正確啟用此功能的系統,但僅僅使用 GNSS 接收器進行定位也存在一些問題。使用慣性測量裝...
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