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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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在電子產業中,傳感器是相當重要的基礎組件,廣泛應用在航天、軍事、工業、家電、汽車電子、信息及醫療設備等領域,尤其近年隨著物聯網概念的擴散,傳感器的需求量...
ABS系統必須增添額外的傳感器來實現ESP功能,包括方向盤角度傳感器、偏航速率傳感器和低重力加速度傳感器,這些傳感器都用來測量車輛的動態響應。顯然,這為...
微機電系統(MEMS, Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的。MEM...
如果說很多人把MCU或SoC主芯片比喻為現代電子系統的大腦,那么時鐘組件當之無愧是其心臟。無論是電子工程師還是元器件采購者,在選擇時鐘組件時都會經過全面...
VTI公司使用基于SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創胎心檢測方法,研制出一種簡單易學、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監護...
mems(微機電系統)傳感器;有三項MEMS技術產品:紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;
可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無源器件,本內容詳細介紹了MEMS VOA在光通信系統中的應用。
在我們的世界里,視覺和聲音都是類比形式,但當我們利用電子訊號來獲取、儲存和傳送這些類比現象時,采用數位技術卻能帶來許多重大優點;音訊處理就是個例子,當它...
本文分析了微/納機電系統的發展特點,討論了MEMS和NEMS發展中的幾個問題和MEMS和NEMS的發展前景。
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