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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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國產(chǎn)傳感器罕見的時(shí)代機(jī)遇,是120萬億機(jī)器人市場
來源:傳感器專家網(wǎng) 機(jī)器人指數(shù)今年以來彈性突出,上半年指數(shù)漲幅達(dá)到25%,多個(gè)機(jī)器人傳感器概念企業(yè)漲幅明顯。 編輯:感知芯視界 從市場到資本,目前中國智...
三軸陀螺儀基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)或光學(xué)原理工作。它通常由三個(gè)獨(dú)立的感測器組成,每個(gè)感測器測量物體圍繞一個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)速度。這些感測器可以是微機(jī)電系統(tǒng)...
MEMS傳感器是最先進(jìn)的微型設(shè)備之一,以令人難以置信的精確度測量物理量,有力地改變著各行各業(yè)。MEMS技術(shù)使得高度集成系統(tǒng)的開發(fā)成為可能,這些系統(tǒng)用于監(jiān)...
可穿戴設(shè)備是一種可以安裝在人、動物和物品上,并能感知、傳遞和處理信息的計(jì)算設(shè)備,傳感器是可穿戴設(shè)備的核心器件,可穿戴設(shè)備中的傳感器是人類感官的延伸,增強(qiáng)...
技術(shù)日新月異,我們每天都走在創(chuàng)新的路上,獲取前沿的領(lǐng)域知識,并轉(zhuǎn)化為自己的成果,創(chuàng)造出更適合用戶的產(chǎn)品。 在這一路上,貿(mào)澤電子始終會伴你左右,并隨時(shí)提供...
MEMS壓電超聲換能器CMUT&PMUT以及生產(chǎn)工藝
聲波:物體振動時(shí)激勵(lì)著它周圍的空氣質(zhì)點(diǎn)振動,由于空氣具有可壓縮性,在質(zhì)點(diǎn)的相互作用下,振動物體四周的空氣就交替地產(chǎn)生壓縮與膨脹,并且逐漸向外傳播,從而形成聲波。
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效,另一方面,日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。
2023-07-05 標(biāo)簽:濾波器mems通信系統(tǒng) 3673 0
編者注:TSV是通過在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導(dǎo)通;TSV技術(shù)通過銅、鎢、多晶硅等導(dǎo)電物質(zhì)的填充,實(shí)現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互聯(lián),這項(xiàng)技術(shù)是目前...
北京大學(xué)在壓電MEMS領(lǐng)域取得重要進(jìn)展:讓一塊壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)馬達(dá)的驅(qū)動功能!
近日,北京大學(xué)董蜀湘教授課題組在壓電MEMS領(lǐng)域獨(dú)辟蹊徑:發(fā)明了一種壓電馬達(dá),只需一個(gè)壓電陶瓷,就可產(chǎn)生兩個(gè)對稱驅(qū)動和實(shí)現(xiàn)兩個(gè)對稱運(yùn)動輸出功能。而傳統(tǒng)上...
動作捕捉系統(tǒng)的一般性結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)部分:數(shù)據(jù)采集設(shè)備、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、數(shù)據(jù)處理單元,慣性式動作捕捉系統(tǒng)即是將慣性傳感器應(yīng)用到數(shù)據(jù)采集端,數(shù)據(jù)處理單元通過...
超級全面!一文看懂***:MEMS傳感器及芯片制造的最核心設(shè)備
文章大綱 光刻是芯片制造最核心環(huán)節(jié),大陸自給率亟待提升 ·光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備,市場規(guī)模全球第二 ·一超兩強(qiáng)壟斷市場,大陸卡脖子現(xiàn)象凸顯 光刻機(jī):...
MEMS 加速度計(jì)中的主要阻尼機(jī)制之一是運(yùn)動質(zhì)量與周圍空氣分子之間發(fā)生的內(nèi)部摩擦。事實(shí)上,可以在極低的壓力下封裝基于 MEMS 的加速度計(jì),以減少空氣阻...
從輔助駕駛到自動駕駛: 感知型車輛建立在底層高質(zhì)量的傳感器數(shù)據(jù)基礎(chǔ)之上
這些傳感器技術(shù)包括攝像頭、激光探測與測距(LiDAR)、無線電探測與測距(radar)、微機(jī)電傳感器(MEMS)、慣性測量單元(IMU)、超聲波和GPS...
傳感器和數(shù)字技術(shù)的進(jìn)步如何幫助改善患者護(hù)理
這讓我們能夠在醫(yī)院以外實(shí)施醫(yī)療監(jiān)測和檢驗(yàn),可以在本地醫(yī)療機(jī)構(gòu)(例如GP practices)或患者家中執(zhí)行。為了給患者帶來更大的便利,可穿戴設(shè)備(例如貼...
利用軟件驅(qū)動、安全的預(yù)測性電機(jī)維護(hù)提高生產(chǎn)力
現(xiàn)在,工業(yè)4.0(也稱為工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)或IIoT)浪潮正如火如荼,工業(yè)客戶更專注于部署解決方案以增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間,降低運(yùn)營成本,延長設(shè)備壽命,提高工人生...
2023-06-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 860 0
液位測量系統(tǒng)使用補(bǔ)償硅壓力傳感器和Δ-Σ ADC-第1部分
該參考設(shè)計(jì)是液位測量和控制系列中的首個(gè)。在第1部分中,描述了現(xiàn)代壓力傳感器之間的差異,并強(qiáng)調(diào)了微機(jī)電(MEMS)溫度補(bǔ)償硅壓力傳感器的最新進(jìn)展的好處。這...
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