MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術附加值高，適于批量化生產、易于集成和實現智能化等特點。
MEMS傳感器通常被分為以下7類。
1、壓力傳感器：絕對壓力的傳感器和計量壓力的傳感器。
2、熱學傳感器：溫度和熱量傳感器。
3、力學傳感器：力、壓強、速度和加速度傳感器。
4、化學傳感器：化學濃度、化學成分和反應率傳感器。
5、磁學傳感器： 磁場強度、磁通密度和磁化強度傳感器。
6、輻射傳感器：電磁波強度傳感器。
7、電學傳感器：電壓、電流和電荷傳感器。
除了上面介紹的幾種典型MEMS傳感器外，還有許許多多的MEMS傳感器，如用于微觀判斷的MEMS觸覺傳感器、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器等。在不同環境中，MEMS傳感器的技術應用也是不同的。
MEMS傳感器已在消費電子產品、汽車工業、醫療保健、機器人及自動化工業、太空衛星、運載火箭、航空航天設備等領域有著廣泛的應用，其中消費類電子已經成為了MEMS傳感器的第一大應用市場，2014年全球銷售額已達30億美元。
隨著汽車、智能裝備、家電類產品領域的迅速增長，MEMS傳感器用量將大大增加。物聯網、云計算、大數據、智慧城市更為傳感器創造了良好的市場空間，農業、環保、食品檢測、智慧醫療、健康養老、可穿戴設備、機器人、3D打印也為MEMS傳感器技術的提升和應用創新拓展了思路。
2014年，全球MEMS傳感器市場規模為130億美元，分析機構預計2015-2020年MEMS傳感器市場將以13%年復合成長率增長，2020年將達到300億美元。
近十年來，中國的MEMS傳感器產業生態系統逐步完善，已形成從技術研發、設計、生產到應用的完整體系， 部分細分領域已躋身世界領先水平。
據分析機構YOLE報告，2014年，全球排名前30的MEMS傳感器市場廠商當中，中國占據了2個席位，瑞聲科技，排名20；歌爾聲學，排在第27位。從產業的角度而言，對中國MEMS傳感器企業起到了很好的引導示范作用。
MEMS麥克風供應商歌爾聲學（Goertek）、瑞聲科技（ACC）、共達電聲（Gettop）等通過購買英飛凌的MEMS和ASIC芯片，然后自己封裝；瑞聲科技和歌爾聲學分別是全球第二和第四大MEMS麥克風供應商，出貨量占2014年全球市場的25%。
美新（MEMSIC）的加速度計和磁力計，深迪（Senodia）的磁力計和陀螺儀，明皜（MiraMEMS）加速度計、磁力計、6軸電子羅盤，矽睿（QST）加速度計和磁力計，蘇州敏芯微電子MEMS麥克風。這些MEMS企業雖然有些產品出貨量還比較低，但是在低端消費領域還是有了一定的竟爭力。
截至2014年的統計數據，中國MEMS 傳感器企業已經有190家。其中做MEMS軟件與專用電路的有11家；做MEMS產品設計的有143家；做MEMS封裝與測試的有16家；做MEMS前端制造工藝線的，有20家。
2015年，中國重要的MEMS傳感器初創企業在市場上披荊斬棘，順利拿到了融資，未來前景可期。
共達電聲擬以不超過2500萬元收購北京卓銳微技術有限公司100%股權。公司擬通過上述股權收購，掌握國產MEMS麥克風核心芯片研發、生產技術，提高微電聲產品整體研發水平，并有效垂直整合MEMS麥克風產品產業鏈條，縮短新產品開發周期，開辟國產MEMS麥克風替代進口市場。北京卓銳微技術有限公司是一家優秀的集成電路芯片、MEMS芯片設計、研發公司，獨立提供完整的MEMS麥克風核心芯片解決方案。
矽立科技（mCube）獲得盛世投資的上億人民幣投資。（盛世投資剛收購了全球領先的純MEMS代工廠Silex Microsystems）。矽立科技（mCube）致力于將MEMS運動傳感器應用在一切可移動的物體，提供便捷的互聯，從而改變消費者的生活和商業交互方式。
蘇州固锝電子股份有限公司子公司明皜傳感A輪融資金額9500萬元。明皜傳感主要從事MEMS傳感器的研發、設計和生產，并提供相關技術服務。主要產品方向有：加速度計、陀螺儀（研發中）、壓力傳感器、磁傳感器和MEMS麥克風，旨在為消費電子、汽車電子、工業自動化等領域提供所需的產品和集成方案。
蘇州敏芯微電子技術有限公司的老股東增值2000多萬元。蘇州敏芯微電子技術有限公司成立于2007年，是中國國內最早成立的MEMS研發公司之一。，擁有數項涉及MEMS關鍵技術的突破性發明和世界級科研成果。敏芯微電子的主要產品有MEMS麥克風、壓力傳感器、慣性傳感器等。
盡管中國MEMS 傳感器已取得長足的進步，但中國作為全球最大的電子產品生產基地，消耗全球四分之一的MEMS器件，可大部分MEMS傳感器仍依賴進口，就總體水平而言，國內MEMS傳感器仍以中低端為主，技術相對落后，與歐美日相比，國內在整個產業的各個環節都有差距，制造技術和封裝技術更加明顯，原始性創新的產品少，導致產品的附加值和市場份額都比較低。
MEMS傳感器屬于集成電路行業，從集成電路行業分析看來，MEMS傳感器是我們與國外差距比較小的領域，這與MEMS傳感器產業整體起步較晚不無關系，而且與IC產品品種比較單一不同，MEMS傳感器產品多樣，創新空間巨大。
蘇州敏芯微電子技術有限公司CEO李剛就表示：“客觀地講中國MEMS領域的研發水平總體上是落后于國外不少，但是我一直覺得我們有很大的機會進行局部突破。從長期來看，我一直看多國內的MEMS產業。因為MEMS產業并不遵從摩爾定律，不是一個先進工藝驅動的產業。這就意味著，一旦國內廠商采購了專用 MEMS設備，它不必向半導體產業那樣不斷升級更新進的設備。設備具備了，生產環節又是國內代工廠的優勢，國內的市場又足夠大能支撐起很多MEMS公司， 那么國內MEMS公司耐心地做好技術，那么就能帶動整個產業鏈，達到一個很好的良性循環。”
依托全球最大的消費類市場，基于本土化的優勢，設計、工藝做到與國際廠商看齊，成本擁有本土優勢，而技術支持可以做到實時，這就是本土MEMS傳感器廠商的競爭優勢。
目前國家對MEMS傳感器行業的政策支持力度非常大，本土廠商要趁著全球半導體產業增速放緩和國家大力支持MEMS產業化之際，通過并購重組進一步完善整個產業鏈，逐步累積 MEMS領域的專利，不斷提高國內設計及工藝技術水平，積極引進國際化人才并加快本土人才的培養。
小結：隨著MEMS傳感器市場的不斷擴大，在物聯網機遇下，我國MEMS傳感器產業將迎來巨大發展前景，布局得當有可能實現“彎道超車”， 通過幾年的努力躋身全球第一陣營，實現跨越式發展。