壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態壓力傳感器，它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片（N型）定域擴散4條P雜質電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應力區，另兩條處于拉應力區，相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條 ，兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。

　　壓阻式壓力傳感器優點：

　　1. 頻率響應高，f0可達1.5M；

　　2. 體積小、耗電少；

　　3. 靈敏度高、精度好，可測量到0.1%的精確度；

　　4. 無運動部件（敏感元件與轉換元件一體）。

　　壓阻式壓力傳感器缺點：

　　1. 溫度特性差；

　　2. 工藝復雜。

　　壓力傳感器廣泛地應用于航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫學工程、氣象、地質、地震測量等各個領域。在航天和航空工業中壓力是一個關鍵參數，對靜態和動態壓力，局部壓力和整個壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如，用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發動機進氣口的動態畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。

　　在飛機噴氣發動機中心壓力的測量中，使用專門設計的硅壓力傳感器，其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數據測量系統中采用了精度高達0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風洞模型試驗中，壓阻式傳感器能密集安裝在風洞進口處和發動機進氣管道模型中。

　　單個傳感器直徑僅2.36毫米，固有頻率高達300千赫，非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫學方面，壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制成擴散硅膜薄到10微米，外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱內、尿道、子宮和眼球內壓力的傳感器。是一種用于測量腦壓的傳感器的結構圖。

　　壓阻式傳感器還有效地應用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監測和控制汽車發動機的性能以及諸如測量槍炮膛內壓力、發射沖擊波等兵器方面的測量。此外，在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應用壓阻式壓力傳感器。

　　壓阻式壓力傳感器靈敏度高，它的靈敏系數比金屬應變片高50~100倍;頻率響應快，不僅能檢測靜態壓力，還能檢測動態壓力（最高可達10kHz）;易于小型化和微型化，最小的傳感器可小至1.8mm，在生物學上可以測量血管內壓和顱內壓;測壓范圍很寬，可以低至10Pa的微壓（用于血壓測量）、高至60MPa的高壓;工作可靠，測量準確度可達±（）.2%-±0.02%，高準確度的產品可用于大型飛機大氣數據的壓力檢測或作為標準壓力計。目前已經廣泛應用于石油、化工、電氣等工業領域，是一種比較理想、發展迅速、正在逐漸成為市場主流的壓力傳感器。

　　1