目前主要的磁傳感技術根據(jù)工作原理的不同，包括霍爾、AMR（各向異性磁阻傳感器）、GMR（巨磁阻）、TMR（隧道磁電阻）、磁通門、磁感應（Magneto Inductive）、超導量子干涉儀（SQUID）等。據(jù)市場調(diào)研公司MarketsandMarkets預測，全球磁傳感器市場規(guī)模預計將從2015年的22.5億美元增長至2022年的41.6億美元，2016~2022年間的年復合增長率為8.87%，增長勢頭強勁。 ? 全球磁傳感器市場增長的主要驅(qū)動力來自于：磁傳感器垂直行業(yè)對基于MEMS傳感器的需求日益增長（傳統(tǒng)的基于機電工藝制成的傳感器和執(zhí)行器在體積、價格和產(chǎn)能上不能適應工業(yè)、消費電子等領域的需求）、汽車和電子羅盤應用的增長、對高質(zhì)量傳感器件需求的日益增加、消費電子應用的不斷增長。 ?
? 電子發(fā)燒友對目前國內(nèi)外主要的MEMS磁傳感器廠商及其產(chǎn)品做了梳理，以下是具體內(nèi)容。 ?
1、NXP? KMA320 ?
? KMA320/321/310系列適用于油門/EGR位置傳感器、渦輪增壓器/離合器/換擋執(zhí)行器等高性能應用。該傳感器采用無PCB設計，帶集成電容。該IC支持特定用戶定義角度范圍、零角度位置和鉗位電壓。這些設置永久保存在非易失性存儲器中(NVM)。可編程的角度傳感器是預先設置、預先校準的，因此，隨時可用。 ? 工作溫度最高達180℃，適用于發(fā)動機艙中的高溫應用(ETC，EGR)，基于內(nèi)置的AMR技術，精度高。17個等距的或7個可選的校準點，可進行多點校準，以提高應用的線性度和靈活性，8 × 12位客戶存儲空間，便于追蹤經(jīng)久耐用，此外工作磁場強度大于25 kA/m。 ? KMZ41 ? KMZ41是一款靈敏的磁場傳感器，具有薄膜坡莫合金的磁阻效果。該傳感器集成兩個電流獨立的惠斯通電橋，覆蓋45 °角。強度大于40 kA/m（建議場強大于100 kA/m）且表面與芯片（x-y平面）平行的旋轉磁場將產(chǎn)生兩個獨立的正弦輸出信號，一個信號遵循cos(2α)函數(shù)，另一個遵循sin(2α)函數(shù)。傳感器的工作頻率范圍為直流至1 MHz。 ?
? FXOS8700CQ ? FXOS8700CQ 6軸傳感器在小型3 x 3 x 1.2 mm QFN塑料封裝中結合了先進的加速度傳感器和磁力傳感器。這款產(chǎn)品將14位加速度傳感器和16位磁力計與高性能ASIC結合在一起構建電子羅盤解決方案，典型的方向分辨率為0.1°，羅盤方位精度誤差小于5°，可滿足很多應用。 主要目標產(chǎn)品有智能手機、平板電腦。 ?2、Allegro? ATS19580 ? 這是業(yè)內(nèi)首款完全集成的、背磁（back-biased）巨磁阻（GMR）變速箱速度和方向傳感器。ATS19580能夠在變速箱應用中實現(xiàn)最高的系統(tǒng)性能，并可減小系統(tǒng)尺寸，降低復雜度和成本，提高系統(tǒng)的燃油經(jīng)濟性。ATS19580將GMR技術與Allegro領先的變速箱算法和獨特封裝相結合，是迄今為止性能最高的變速箱傳感器，其主要性能包括：工作氣隙的最大動態(tài)范圍（提高50％）、業(yè)界領先的抗振動性能、電磁兼容（EMC）保護、穩(wěn)健的抗共模雜散場能力。 ?
? A19520 ? A19520是一款先進的耐振霍爾效應集成電路(IC)，可測量旋轉目標的速度和方向。該傳感器IC可以直接測量環(huán)形磁鐵或者與磁鐵反向偏置來測量鐵磁目標。該封裝具有用于電磁兼容性(EMC)的集成電容器。A19520采用智能算法，可在傳動應用中常見的振動和高動態(tài)氣隙環(huán)境中穩(wěn)定運行。此外，A19520差分傳感功能對干擾共模磁場具有固有抑制功能。 ? A19520中的集成診斷用于檢測影響輸出協(xié)議精度的IC故障，提供支持功能安全性的覆蓋范圍。A19520采用無鉛(Pb) 2引腳單SIP封裝（后綴：UG），并采用錫電鍍引腳框。UB封裝包括集成在單個包覆成型封裝中的IC和電容器，并附加模制引線穩(wěn)定桿，可實現(xiàn)安全運輸，并且易于組裝。 ?
?3、TDK-Micronas? CUR 423x ? CUR 423x是一款用于隔絕的交流和直流測量的單軸非接觸式磁場傳感器。隧道磁阻傳感技術可以在高電流應用中以高敏感度和高精度測量電流。在混合電動車高壓電池監(jiān)控系統(tǒng)中使用電流隔絕的感應電路尤其有益。在全溫度范圍內(nèi)的優(yōu)異信噪比和全范圍內(nèi)低于1%的誤差率，能實現(xiàn)上至5 kHz信號帶寬的應用中的精確電流測量。 ?
? 因為無需使用聚磁芯，可以節(jié)省空間和成本。數(shù)字補償、溫度補償、低通濾波以及鉗位可以通過TDK-Micronas的編程工具輕易實現(xiàn)編程。 ? HAl 15xy ? HAl 15xy系列產(chǎn)品是各種霍爾開關，帶具有主動偏置補償和比較器的溫度補償霍爾片，可選開漏輸出或者電流輸出。HAL 15xy有帶短路保護的三線開漏輸出版本和兩線電流輸出版本。HAL 15xy有最小的SOT23包裝，提供最低能耗，快速反應時間，以及獨特的安全特性，比如為客戶提供高性價比的上電自檢功能。
HAL 15xy有各種不同開關點的版本，廣泛適用于極限環(huán)境溫度境況下的汽車和工業(yè)應用。 ?
? HAL 24xy ? 新的HAL 24xy產(chǎn)品系列提供擴展的距離測量，更加耐用，為惡劣環(huán)境下的應用提供藝術級的診斷功能。系列中的新產(chǎn)品延續(xù)了Micronas的線性霍爾效應傳感器的長期成功，全部本廠生產(chǎn)，并且使用有汽車級的百萬產(chǎn)品零缺陷記錄。產(chǎn)品使用Micronas最新技術，新的數(shù)碼架構和加強的霍爾片，可以僅用一個簡單的磁鐵配置就可以測量上至180°的角度。 ? 產(chǎn)品具有帶旋轉電流補償?shù)臏囟妊a償霍爾片，一個帶輸出驅(qū)動的直流／交流轉換器，為標定數(shù)據(jù)和輸出數(shù)據(jù)提供冗余和鎖定功能的EEPROM內(nèi)存，對EEOROM編程的圖形界面，和各連接保護裝置。
通過簡單標定，產(chǎn)品可很好地調(diào)整輸出輸入信號和補償應用中的所有偏差（磁鐵位置，溫漂）。這讓產(chǎn)品在全溫度范圍內(nèi)精確工作。通過PC電腦和Micronas工具包可以輕松實現(xiàn)對各別傳感器參數(shù)的計算和EEPROM編程，產(chǎn)品設計適用于惡劣環(huán)境下的工業(yè)和汽車應用。 ?
?4、Melexis? MLX9039 ? 邁來芯MLX90393是邁來芯位置傳感器IC的新晉成員，同時也是該產(chǎn)品組合中靈活性最高的最小組件。此外，這款磁場傳感器IC專為微功率應用而設計，其占空比可在0.1％至100％的范圍內(nèi)編程設定。MLX90393磁場傳感器IC可以在運行期間重新編程為不同模式及設置。此傳感器IC提供16位輸出，與通過邁來芯專有Triaxis技術沿XYZ軸檢測到的磁通密度成比例，并且還提供溫度輸出信號。當MLX90393作為總線上的從器件時，將通過I2C和SPI提供上述數(shù)字值。 選擇待測量的軸后，可以將其原始數(shù)據(jù)作為輸入用于進一步的后處理，例如用于操縱桿應用、旋鈕和更復雜的3D位置感應應用。該傳感器IC主要面向工業(yè)應用和消費類應用，超強性能無與倫比。 ?
? MLX90395 ? MLX90395 Triaxis磁性節(jié)點是一個微型傳感器IC，可感測IC磁通密度的三個正交分量（即，BX、BY 和 BZ）以及溫度。因此，MLX90395可偵測幾乎任何移動磁體的絕對位置。這款位置傳感器IC可用于設計面向汽車和工業(yè)應用（采用旋轉、線性和搖桿運動）的新一代非接觸式位置傳感器。 ?
?5、ADI
ADA4571-2 ? ADA4571-2是一款雙通道各向異性磁阻(AMR)傳感器，集成信號調(diào)理放大器和ADC驅(qū)動器。該器件產(chǎn)生模擬輸出，指示周圍磁場的角位置。每個通道在一個封裝內(nèi)集成兩個芯片：一個AMR傳感器和一個可變增益儀表放大器。ADA4571-2提供與旋轉磁場角度相關的干凈且放大的每通道余弦和正弦輸出信號。輸出電壓范圍與電源電壓成比例。 ? 每個檢測通道含有兩個單獨的且互成45°角的惠斯登電橋。與IC封裝平面平行的旋轉磁場提供兩路正弦輸出信號，且傳感器與磁場方向的角度α頻率翻倍。在與IC封裝平面平行的的均質(zhì)場內(nèi)，輸出信號與傳感器和磁體之間的氣隙無關。 ?
? ADA4571-2采用16引腳SOIC封裝。用于永磁同步電機(PMSM)控制與定位非接觸式角度測量與檢測磁性角位置。 ? AD22151G ? AD22151G是一款線性磁場傳感器，其輸出電壓與垂直施加于封裝上表面的磁場成比例。 ?
?6、英飛凌? TLE4999I3 ? 英飛凌聲稱TLE4999I3傳感器是世界上第一個將ASIL D汽車系統(tǒng)的兩個霍爾傳感器單片集成在一起的傳感器。將兩個傳感元件結合到一個封裝中使其具有對故障的彈性和靈活性，并且由于其冗余備份的測量通道而更加準確。并且每個通道都可通過EEPROM獨立編程。 ? 根據(jù)設備的數(shù)據(jù)表，TLE4999I的兩個霍爾被稱為主霍爾探頭和子霍爾格傳感器各自產(chǎn)生獨立的測量通道，每個通道都具有獨立調(diào)節(jié)的模擬電源域和偏置單元。 ?
? 工作結溫范圍為-40°C至150°C，5.5至7 V電源電壓范圍，采用雙線雙向SICI（串行檢查和配置）接口，采用三引腳PG-SSO-3-12封裝。 ?7、美新? MMC5633NJL ?
? 三軸磁傳感器和電子電路全集成式芯片，幾乎不需要外部元件。優(yōu)越的量程和精度,最小分辨率為0.0625mG，實際響應頻率可達1000Hz，超小的晶圓級封裝，尺寸為0.85mm x 0.85mm x 0.4mm，通過內(nèi)部Set/Reset置/復位磁傳感單元, 保證傳感器精度始終如一。 ? 此外可以消除溫度壓力等環(huán)境因素造成的零點漂移，消除外磁場引起的剩磁和磁滯，并自帶靈敏度補償、溫度傳感器，具備自檢功能，待機模式耗電僅1μA。 ? MMC5883MA ?
? MMC5883MA是16位運行模式，±8G的量程，最小分辨率為0.25mG，最大采樣率可達600Hz，具有業(yè)界標準的小體積封裝，尺寸為3.0mm x 3.0mm x 1.0mm。 ? 通過內(nèi)部Set/Reset置/復位磁傳感單元, 保證傳感器精度始終如一消除溫度壓力等環(huán)境因素造成的零點漂移，消除外磁場引起的剩磁和磁滯，自帶靈敏度補償、溫度傳感器，具備動作識別和數(shù)據(jù)就緒的中斷功能。 ?8、國創(chuàng)智能? GC-CC-302 ? GC-CC-302A型高精度微磁傳感器是一種基于巨磁阻抗效應和具有軸向采集特性的傳感器。通過使用專用的信號處理電路，實現(xiàn)高探測靈敏度，在環(huán)境磁場相對穩(wěn)定的環(huán)境中，探測噪聲水平低至20pT。該微磁傳感器可廣泛應用于諸如磁異常探測、高精度磁測量和科學研究等。相對于其他類型的微磁傳感器，GC-CC-302A型高精度微磁傳感器具有高精度、高響應速度、高可靠性、小型化、低功耗、抗干擾能力強等優(yōu)勢。產(chǎn)品使用模擬信號輸出，更易于與用戶大系統(tǒng)集成，同時模擬信號輸出可提供更高的響應速率。 ?
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