利用水蒸氣能吸收某波段的紅外線制成的濕度傳感器。60年代中期，美國氣象局以波長為1.37微米和1.25微米的紅外光分別作敏感光束和參考光束，研制成紅外線吸收式濕度傳感器。這種傳感器采用裝有λ0濾光片和λ 濾光片的旋轉濾光片，當光源通過旋轉濾光片時，輪流地選擇波長為λ0和λ 的紅外光束,兩條光束通過被測濕度的樣氣抵達光敏元件,由于波長為λ0的光束不被水蒸氣吸收，其光強仍為I0，波長為λ的光束被水蒸氣部分吸收，光強衰減為I（圖5）。采用朗伯－貝爾法測量： 式中I0為光源光強度，I為光敏元件處的光強度，ε為吸收系數(shù),c為待測含水蒸氣的濃度,l為光路長度。根據(jù)光強度的變化，將光敏元件上的信號處理后可獲得正比于水蒸氣濃度 c的電信號。紅外線吸收式濕度傳感器屬非水分子親和力型濕敏元件，測量精度和靈敏度較高，能夠測量高溫或密封場所的氣體濕度，也能解決其他濕度傳感器不能解決的大風速或通風孔道環(huán)境中的濕度測量問題。缺點是結構復雜，光路系統(tǒng)存在溫度漂移現(xiàn)象。